新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机过滤单元（FFU）空气处理方案如图1。
图 1 新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机过滤器单元（FFC）空气处理方案示意图
此方案多用于不同温、湿度和洁净度要求的洁净室，各室内的温湿度负荷不同对送风状态点的要求也不同。为了保证各个洁净室的温度、湿度和洁净度，为了满足不同的基数和精度要求，就要求将循环空调机组分开设置，根据不同的要求，分别处理各自的热湿负荷。同时因为洁净度的不同、送风量不同，FFU的数量也不同。循环空调机组的风量是根据室内热湿负荷经计算确定的，一般情况循环空调机组和新风空调机组都设置在空调机房内，新风空调机组可将室外空气处理到室内热湿比线的机器露点，和室内回风混合再由循环空调机组（RAU）处理到送风状态点，这样循环空调机组（RAU）只要作降温处理，不需要再作降湿处理。若新风空调机组（MAU）将空气处理到室内状态点的等焓线上，再与室内回风（部分）混合，再由循环空调机组（RAU）将混合点的空气状点经降焓降湿处理到送风状态点，然后送入回风静压箱内经风机过滤单元（FFU）送入洁净室内，这样循环风机的风量略大。这两种处理方式应根据具体情况来定。
图2是该方案的空气处理流程。
图 2 新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机过滤器单元（FFC）空气处理焓湿图(I-D)
上述空气处理方案是在洁净空调设计中经常使用的方案之一，在设计过程中，对室内负荷的计算要准确，否则在实际运行时室内的温湿度的要求和精度的要求难以满足，热湿比的计算（ε线）决定了空气处理过程的走向，洁净空调系统的风量计算与一般空调风量计算有所不同，前面已经陈述过了，关键是送风状态点的确定必须经过计算，然后在空气焓湿图（I－d图）上确定。另外对空调箱中的表冷器、加热器、加湿器必须要进行校核计算，保证其参数满足设计要求，尤其是对新风空调箱的表冷器大焓差、大湿差的处理，校核计算更重要。另外要注意的是计算时使用的空气焓湿图（I－d图）必须是工程所在地的空气焓湿图（I－d图），因为各地区的大气压不同，空气的参数也是不同的。
