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洁净室气体系统分项验收要求:（1） 各种成品应有产品合格证，材料应有质量证明文件。 （2） 实际使用的管道材料和规格应符合设计要求。...
洁净室气体管道系统吹除和供给装置要求:1. 气体管道各项试验合格后，应使用与洁净室洁净度级别匹配的洁净无油压缩空气或高纯氮气吹除管内污物，吹除气流流速应大于20m／s，直至末端排出气体在白纸上无污痕为...
洁净室气体管道系统强度试验要求:1. 可燃气体和高纯气体等特殊气体阀门安装前应逐个进行强度和严密性试验。管路系统安装完毕后应对系统进行强度试验。强度试验应采用气压试验，并应采取严格的安全措施，不得采用...
洁净室气体管道系统安装要求:管道安装前应进行以下准备工作： （1） 配管下料时应采用“等离子切割”或专用切割锯、割管刀等工具，不应采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或润滑剂。...
洁净室气体系统管材及附件设计要求:一、洁净室气体系统设计一般规定 1. 洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MPa洁净的和高纯的永久气体、特种气体、医用气体、可燃气体、惰性气体输送管道以及真空...
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