洁净室分子态污染物检测方法

一、洁净室分子态污染物（AMC）

      分子态污染物主要包括以下四种：

      （1）酸性气体（表示为A）：N_O4、SO_x、HF、HCl、H₂SO₄等。

      （2）碱性气体（表示为B）：NH₃

      （3）凝聚性有机物（表为C）：在常温常压下容易凝结在物体表面的有机物，包括碳氮化合物、硅氧化物、氟高分子有机物等。

      （4）金属掺杂物（表示为D）：Fe、Na、K、Ca、Zn、Al、Br等。

二、洁净室分子态污染物检测方法

      分子态污染物可采用以下采样方法和分析方法：

      （1）采样方法包括被动式采样方法和主动式采样方法。前者采样周期较长，后者要有较复杂的仪器。

      主动式采样方法包括：撞击法、吸附管法、扩散采样分析法、过滤器收集法、采样袋（罐）法、晶圆片或平板法、液滴扫描提取法等。

      （2）空气分子态污染物浓度的分析法包括在线分析法和离线分析法。

      在线分析法可用磁带记录法、紫外线照射法、转筒式化学浸渍滤纸分析仪（CPR）上比色检测法、离子迁移率色谱（IMS）法、便携式气相色谱仪（PGC）法、离子色谱监控（ICS）法、化学发光监控（CLS）法、表面声波（SAW）等专用仪器直接测定分子浓度。但应注意仪器的测定下限和测量范离线分析法，应在主动采样完毕经实验室分析后得出各种成分浓度。

三、撞击采样法

1. 撞击采样法适用于检测空气中的阴阳离子（Li⁺、Na^＋、K⁺、Ca²⁺、Mg²⁺、Fe²⁺、Br^-、Cl^-、NH₄⁺、SO₄^2-、PO₄^3-、 NO₃^-等）的浓度。检测限值可按表H.3.1执行。

表H.3.1 撞击法检测极限值

       注：体积浓度ppb的量级为10^-9，重量浓度ng的量级为10^-12。

2. 撞击采样法可采用如下设备和材料：

（1）测定设备如图H.3.2所示。

图H.3.2 撞击采样法示意

1一气泵；2一去湿管；3一超纯水；4一采样瓶；5-进气口

      （2）离子色谱分析仪。

      （3）超纯水。

3. 撞击采样法可按以下步骤进行：

      （1）测定前的所有准备工作必须在5级洁净环境中进行，所使用的超纯水必须保存在5级洁净度环境中不被污染，必须保存足够的量以供分析对比使用。

      （2） 采样瓶内注入30mL超纯水，用管子按图H.3.2所示将各部分连接起来。去湿管是为了保证没有水滴被吸入采样泵。

      （3） 开动气泵吸入空气，使空气不断和瓶中的超纯水碰撞，空气中的成分溶解于纯水。

      （4） 气泵事先必须经过校验，采样的流量为90L/h，采样时间（8～12）h，以达到最低检测限度为准。采样后水样必须在（6～12）℃范围内保存和运输，在7d内送到实验室分析。

      （5） 用离子色谱分析仪检测水样中各种成分的含量。若检测成分多，必须采取足够的水样。

四、吸附管采样法

1. 吸附管采样法适用于检测空气中的易挥发和不稳定物质的浓度。

2. 吸附管采样法可采用以下设备和材料：

      （1）测定设备如图H.4.1所示。

图H.4.1 吸附管采样法示意

1一吸附管；2一气泵；3-调节阀；4-流量计

      （2） 气相色谱质谱仪。

      （3） 吸附物质（TenaxTA60/80等，一种多孔状的二苯氧化基聚酯）。

3. 吸附管采样法可按以下步骤进行：

      （1） 测定前的所有准备工作必须在5级洁净环境中进行。

      （2） 气泵流量为3L/h，必须经过校验。采样时间（3～9）h，达到最低检测度为准。

      （3） 采样前后的采样管均必须在（2～8）℃范围内保存和运输，在7d内送到实验室分析。