洁净室高效空气过滤器现场扫描检漏方法检漏气溶胶发生如下:
1. 气溶胶物质可按以下原则选择:
用于过滤器现场扫描检漏试验的气溶胶可为液态,也可以为固态。
常用的气溶胶物质包括:
DEHS/DES/DOS(癸二酸二辛酯);
DOP(邻苯二甲酸二辛酯);
矿物油;
石蜡油;
PSL(聚苯乙烯乳胶球);
大气尘溶胶。
2. 多分散气溶胶可按以下方法发生:
采用laskin 喷嘴来发生液态测试气溶胶(图1)。可使用挡板形式惯性分离器等方式回收粒径较大的颗粒,进而减小粒径分布范围。该方法所产生的多分散气溶胶粒径分布的几何标准偏差在1.5到2.5之间。气溶胶粒径分布可通过改变喷嘴的工作压力来进行微小调节,也可采用无水乙醇与DOP或DEHS等混合成不同浓度的混合溶液来控制气溶胶粒径的粒径分布。
为保证气溶胶发生器能够在较长时间内维持稳定的气溶胶发生速率及粒径分布,液面高度不宜低于2.5cm。
图1 采用laskin喷嘴的气溶胶发生器
1一供气管;2一空气入口;3-液体喷出口;4-10管;5-16mm环;6一空气喷出口(1mm孔4个)
实际使用中,可通过并联使用多个喷嘴相对简单地来增加颗粒的产生量,也可提高喷嘴的工作压力来提高单个喷嘴的颗粒产生量。
当选用无法分辨粒径的光度计进行检漏试验时,宜用统一粒径分布的气溶胶进行测试。当采用可分辨粒径的仪器设备如OPC进行检漏试验时,对于测试气溶胶的粒径分布由建设方(用户)和检测方协商确定。