洁净室高效空气过滤器现场扫描检漏方法粒子计数器法如下：
1. 被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80％～120％之间运行。
2. 当用检漏气溶胶检漏时，检漏方法与光度计法相同。
3. 高效过滤器上游浓度及采样流率应符合表1的规定。如上游浓度达不到规定要求时应采用适当措施。增加上游浓度。当用大气尘检漏时，可采用短路新风机组或对每一台高效过滤器进风面用气泵引入室外空气等方法。
表1 大气尘扫描检漏时的参数
高效过滤器 | 采样流率（L/min） | 过滤器上游浓度（粒/L） |
普通高效过滤器（国标A、B、C类） | 2.83或28.3 | 0.5μm:≥4000 |
超高效过滤器（国标D、E、F类） | 28.3 | ≥0.3μm:≥6000 |
4. 检漏时将采样口放在离被检过滤器表面2cm～3cm处，宜以1.5cm/s（2.83L/min）或2cm/s（28.3L/min）的速度移动，对被检过滤器进行扫描。当上游浓度较大时可提高扫描速度。
5. 采样口宜为矩形。当上游浓度较大时，可以用更快的扫描速度V，按下式计算：
式中：N0——必要的上游浓度（粒/L）；
Q0——最小漏泄流量，对普通高效过滤器取0.02L/min，对超高效过滤器取0.0052L/min；
B——采样器平行于扫描方向的边长（cm）。
采样流率为2.83L/min时，采样口面积宜为1.5cm×2cm；采样流率为28.3L/min时，采样口面积宜为2.5cm×4cm；当采用其他尺寸的探头时，应按式5确定探头扫描速度。长边平行于扫描方向，并与采样管形成不大于60°的锥形连接。
6. 采样过程中应使采样管中微粒的扩散沉积损失和沉降、撞击沉积损失不超过5％。28.3L/min的粒子计数器水平采样管的长度不应超过3m，2.83L/min的粒子计数器水平采样管的长度不应超过0.5m。
7. 扫描检漏时应拆去高效过滤器外的孔板或装饰层，扫描面积应稍有搭接。
8. 按泊松分布和非零检测原则，当单位检测容量中检到小于等于3粒时，95％读数即可为非零读数，即可判断为漏。与单位检测容量的浓度有关的特征数可按表8执行。
表2 漏泄特征判断微粒数
单位检测容量实际平均漏泄微粒数 | ≥3~4.5 | ≥4.5~5.8 | ≥5.8~6.8 | ≥6.8~7.8 |
漏泄特征判断微粒数 | >0 | >1 | >2 | >3 |
扫描检漏时，若粒子计数器显示出非零的特征读数，则表示可能有漏泄，应把采样口停在漏泄处1min，确定读数是大于等于3粒，未达到3粒则判为不漏。
9. 在扫一条缝隙时如连续出现超过限值的读数，应进行清洁后重测。
10. 对于单个安装高效过滤器，四周形成空腔时，应采用适宜的隔离措施。挡板高度或直管长度不宜短于40cm（图10）。或按下式计算：
挡板高度或直管长度A＝（B＋C）×cot10°，挡板长度可相当于过滤器一个边长。检测时可移动。
图1 检漏用挡板或围挡管
1-过滤器；2-围挡直管；3一直角挡板（相当于过滤器一个边长）
注：通常情况B＝3cm～3.5cm，c＝1.5cm～2cm。
对于满布安装高效过滤器，应对外侧过滤器加挡板后检漏，挡板高度不短于40cm，长度应不小于过滤器侧边长度的1.2倍。
