洁净室气密性要求如下：
当对洁净室的严密性有特殊要求时，可测其围护结构严密性。围护结构严密性按《洁净室气密性检测方法》进行检验。检验结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，可在以下两表的任何一种评定方法中任选一种方法，两表中最大测试压力设定为500Pa。
表1 按压力半衰期区分气密性程度
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气密性程度 |
压力半衰期T（测试压力衰减到其一半的时间）（min） |
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1 |
≥30 |
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2 |
≥20 |
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3 |
≥10 |
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4 |
≥5 |
表2 按漏泄率区分气密性程度
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气密性程度 |
前5min内每小时漏泄率α（h-1） |
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1 2 |
≤ 2.5×10-3 |
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≤ 10-2 |
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3 |
≤ 5×10-2 |
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4 |
≤ 10-1 |
表2中， α = Q/V (1)
式中：V——被检洁净室净容积（一般情况下该容积可以用室体积代替）（m3）；
Q——检验压力下前5min内仪表读出的每小时漏泄量(m3/h)。
当用压缩空气补偿时，设检验时温度不变，流量计检测的Q应考虑压力修正，成为Q1：
式中：Q1——修正后用于计算α的漏泄流量；
P——室内大气压力；
P1——压缩空气实际压力，为表压与大气压之和。
