一、洁净室气密性检测方法原理
1. 保持室内为正压或负压均能满足检验要求，但条件允许时，负压洁净室宜用正压检验，正压洁净室宜用负压检验。
2. 可按以下方法进行检测：
（1） 压力衰减法
使室内达到某一压力（正压或负压），关闭加压或抽负压系统，观察压力随时间衰减的情况，记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间，即为测量室内正压或负压的半衰期。
（2） 恒压法
使室内达到某一正压，同时向室内补气，使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。
二、压力衰减法
1. 测试系统如图G.2.1所示。
2. 可按以下步骤进行检测
（1） 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记录压力衰减测试过程中室内温度的变化（温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃）。
（2） 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风管（或排风管）上的气密阀门，不得在风口上加其他密封措施，并维持各种孔洞缝隙的密封现状。
（3） 开启送风，使室内压力上升至已商定的测试压力（压力计量程至少为测试压力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa），压力稳定后，停止送风，关闭送风阀门。
图G.2.1 压力衰减法系统
1-洁净室；2-送风机；3一调节阀；4-密闭阀；5--微压计；6一排风机
（4） 或反之关闭送风管上的阀门，如果送风管上无阀或阀不严，应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口，开启排风，使室内压力下降至已商定的测试压力，压力稳定后，停止排风，关闭排风气密阀门。
（5） 从停止送（排）风起，记录压力随时间衰减的数据，每1min记录1次压差和温度，连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。
（6） 测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。
（7） 如果需要进行重复测试，20min后进行。
（8） 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。
3. 检测报告应包括以下内容：
（1） 检测条件，包括室内温度等。
（2） 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度；所测洁净室压力、温度的动态变化；检测持续的时间。
（3） 检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1／2时的时间内压力衰减率；所测洁净室围护结构严密性的评价。
三、恒压法
1. 测试系统如图G.3.1所示。
图G.3.1 恒压法测试系统
1-洁净室；2-送风机；3-调节阀；4-密闭阀；5-微压计；6-排风机；7-气泵；8-流量计；9-真空泵
注：正压检验时用气泵，负压检验时用真空泵
2. 可按以下步骤进行检测：
（1） 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记录测试过程中室内温度的变化（温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃）。
（2） 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风管（或排风管）上的阀门，如果风管上无阀或阀不严，应在回风口（或排风口）上用塑料膜加盲板的方法封住风口。
（3） 开启送风，使室内压力上升至500Pa，停止送风，关闭送风阀门。
通过围护结构上的孔洞和导管，由送风机或空气压缩机向室内补气，通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量，以维持洁净室内的压力稳定不下降，每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数，此数即为漏气量，测试持续的时间宜不超过5min，取平均值。
（4） 反之关闭送风阀，开启排风，当内压力下降至-500Pa时关闭排风，开启真空泵保持室内压力，记录真空泵抽气量，此数即漏泄量。
（5） 测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。
（6） 如果需要进行重复测试，20min后进行。
（7） 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。
3. 检测报告应包括以下内容：
（1）检测条件，包括室内温度等。
（2） 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度；室内温度的动态变化；漏泄量的动态变化。
（3） 检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率；所测洁净室围护结构严密性的评价。
四、洁净室气密性检测安全要求
1. 应制定防范预案。
2. 必须对被检验室内的温度进行监测。
3. 恒压法测试持续时间不宜太长。
