1. 洁净室无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求：
（1） 室内空气温度和相对湿度测定之前，空调净化系统应已连续运行至少8h。
（2） 温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计；湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围，应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的最小刻度不宜高于0.4℃，湿度检测仪表的最小刻度不宜高于2％。
测点为房间中间一点，应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后，还应同时测出室外温湿度。
2. 洁净室有恒温恒湿要求房间的温湿度检测应符合下列要求：
（1） 选择以下检测仪器：
1）温度计：采用铂电阻、热电偶或其他类似温度传感器组成测温系统；
2）湿度计：可采用干湿球温度计或其他固态湿度传感器组成测湿系统。
（2） 检测方法与步骤如下：
1）室内空气温度和相对湿度测定之前，空调系统应已连续运行至少12h；
2）根据温度和相对湿度波动范围（表E.5.2），应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。根据由低到高的精度，定宜连续进行（8～48）h，每次测定间隔不应大于30min；
3）室内测点可在送回风口处或在恒温恒湿工作区具有代表性的地点布置。测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m、距地0.8m的同一高度上；也可以根据恒温恒湿区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。具体测点数应符合表E.5.2的规定。
表E.5.2 有恒温恒湿要求时的温、湿度测点数
波动范围 | 室面积≤50m2 | 每增加20～50m2 |
温度波动Δt＝＋0.5℃～±2℃ | 5 | 增加3～5个 |
相对湿度波动ΔRH-±5％～±10％ | ||
温度波动Δ≤｜0.5｜℃ | 点间距不应大于2m，点数不应少于5个 | |
相对湿度波动ΔRH≤｜5｜％ | ||
3. 按以下方法进行数据整理：
室内温度、相对湿度波动范围：按各测点的各次温度和相对湿度中偏离控制点温度和相对湿度最大值的测点数，占测点总数的百分比，整理成累计统计曲线（图E.5.2-1）。
图E.5.2-1 温（湿）度波动曲线
区域温差、区域相对湿度差：按测点中最低或最高的一次测定值与各测点平均温度和平均相对湿度的差值的测点数，占测点总数的百分比，整理成累计统计曲线（图E.5.2-2）。
图E.5.2-2 区域温（湿）差曲线
4. 洁净室室内空气温度、相对湿度结果应符合下列规定：
（1） 无恒温恒湿要求的场所：温度和相对湿度应符合设计或相关标准的要求。
（2） 有恒温恒湿要求的场所：90％以上测点都达到的、各测点各次温度偏离控制点的最大值，为该室室温波动范围，不应超过设计要求；90％以上测点都达到的、各测点平均温度与各测点中最低或最高一次温度的偏差值，为该室区域温差，不应超过设计要求。
（3） 相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。
（4） 测量值应通过调试尽量达到测定时气象条件下静态能力的极值，如建设方有要求，可在动态下复核。
（5） 用于最终评价的温度和相对湿度测定值应为气象条件最不利的冬季和夏季的测定值。
