洁净室微粒计数浓度检测方法

洁净室微粒计数浓度检测方法如下：

1. 室内检测人员应控制在最低数量，不宜超过2人，面积超过100m²又需快速完成测定任务时，可适当增加人数。人员必须穿洁净服，应位于测点下风侧远离测点，动作要轻，保持静止。

2. 0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求：

      （1） 当采用光学粒子计数器（OPC）测定0.1μm至5μm的微粒计数浓度时，应按《GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范》第16.4.5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别。粒子计数器粒径分辨率应小于等于10％，粒径设定值的浓度允许误差应为±20％，并应按所测粒径进行标定，符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T 6167的规定。

      （2） 测点数可按式（E.4.2-1）求出：

式中：n_min——最少测点数（小数一律进位为整数）；

          A——被测对象的面积（㎡）；对于非单向流洁净室，指房间面积；对于单向流洁净室，指垂直于气流的房间截面积；对于局部单向流洁净区，指送风面积。

      测点数也可按表2-1选用。

表2-1 测点数选用表

      （3） 每一受控环境的采样点不宜少于3点。对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室，应适当增加采样点，并得到用户（建设方）同意并记录在案。

      （4） 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区高度（取距地0.8m，或根据工艺协商确定），当工作区分布于不同高度时，可以有1个以上测定面。

乱流洁净室（区）内采样点不得布置在送风口正下方。

      （5） 如建设方要求增加采样点，应对其数目和位置协商确定。

      （6） 每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据“非零检测原则”由下式求出：

      式中：浓度下限单位为粒/L。

                每次采样最小采样量按表2-2选用。

表2-2 最小采样量

续表2-2

      注：表中最小采样量取到2 L，用2.83 L/min计数器时，则实际最小采样量大于2 L。表中最小采样量大于2.83 L的，可用2.83 L/min计数器采样多于1 min，或用28.3 L/min计数器采样1 min，余类推。

      （7） 每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值，3次平均值代表该点数值。

      （8） 当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时，可增加测点数。

      （9） 测单向流时，采样头应对准气流；测非单向流时，采样头一律向上。

      （10） 当要求0.1 μm～5 μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5％时，水平采样管长度也应符合附录D.3.6条的规定。

      （11） 若采样口流速与室内气流速度不相等，其比例应在0.3：1～7：1之间。

      （12） 当因测定差错或微粒浓度异常低下（空气极为洁净）造成单个非随机的异常值，并影响计算结果时，允许将该异常值删除，但在原始记录中应注明。

      每一测定空间只许删除一次测定值，并且保留的测定值不少于3个。

      （13）对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测，可采用顺序采样法，即将每次测定结果标注于图E.4.2上，当标注点落入不合格区时，即停止检测，结果为不达标；当标注点落入合格区时，停止检测，结果为达标；当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表2-2的最小采样量，累计微粒数仍小于20，即停止检测，结果为达标；当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量未达到最小采样量，但累计微粒数已超过20，即停止检测，结果为不达标。

3. 对小于0.1μm的超微粒的检测，应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用。可采用凝结核计数器（CNC或CPC）加静电式分级器（迁移率分析仪）（DMA）、凝结核计数器（CNC或CPC）加扩散式分级器（DB）等，但必须有明确的性能说明书，或有自检报告，对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50％，采样点数目应与2条对0.1 μm～5 μm的要求相同。

4. 大于5μm的大（宏）微粒的检测应符合下列要求：

      （1） 用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定：

      1）粒子计数器应经过大微粒的标定，符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T6167的规定，对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定，应采用不小于28.3L/min的计数器，对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L/min的计数器；

      2）当用28.3L/min计数器时，水平管不应长过0.5m，当用2.83L/min计数器时，原则上不宜有水平管；

      3）采样口面积应按等速采样原则确定，室内风速取平均风速。

      （2）用过滤器采集、显微镜检测时，应遵守下列规定：

      1）过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜。当过滤器采样口直径为25mm时，真空泵采样流量不小于7L/min，当过滤器采样口直径为47mm时，采样流量不小于28.3L/min。对于非单向流洁净室，总采样量不小于28.3L/min，对于单向流洁净室，总采放量不小于280L/min。

      取下滤膜，将滤膜放在清洁的盖玻片上（图E.4.4），采样面向上，放进有50℃左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸。对容积为600mL的烧杯，大约加入15mL丙酮，当做过3次样片时，再加入15mL丙酮，待滤膜透明后取出，再将盖玻片反向固定在载物片上（用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开），熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。

      2）计数时应把制好的标本片固定在显微镜（100倍）工作台的适合位置上，一张标本片上计数总面积不小于0.02×4mm²，在检测中应不断调整。  

3）测定之前，必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度，最后的计数浓度由下式得出：

      式中：

      C₀——滤膜基数密度（粒/mm²）；

      C₁——采样后计数的总采样粒数（粒）；

      f₀——滤膜有效面积（mm²）；

      f₁——采样后计数的总面积（mm²）；

      q——采样流量（L/min）；

      t——采样时间（min）。