洁净室防静电设施分项验收要求如下：
一、防静电设施分项验收应符合下列规定：
1 接地铜箔网或钢筋导电地网应作为隐蔽工程先行验收。自身导电性能应良好，且与建筑物其他导体不得有短路现象。
检验方法：观察检查、尺量和万用表检测。
检验数量：全部。
2 防静电瓷质地板应在铺设7d～10d后进行检测验收。
二、防静电设施的分项验收应包括下列主控项目：
1 地面尺寸允许偏差应符合本规范第4章的有关规定。
检验方法：用2m靠尺和塞尺量。
检验数量：抽查30％。
2 表面电阻或体积电阻符合设计要求。
检验方法：按附录E的方法测定。
检验数量：抽查30％房间，且不少于1间。
3 室外接地电阻和系统接地电阻应符合设计要求。
检验方法：用接地电阻测量仪检测。
检验数量：抽查30％房间，且不少于1间。
