洁净室气体系统分项验收要求

6.7.1 洁净室气体系统分项验收应首先检查以下各项：

      （1） 各种成品应有产品合格证，材料应有质量证明文件。

      （2） 实际使用的管道材料和规格应符合设计要求。

      （3） 系统安装应完整、正确，连接应可靠。除楼层或区域总管与所安装系统的供气阀门（或供气管）不连接外，其他管路、阀门和附件都应安装连接完毕。

      （4） 不同系统的管道应有明显的识别标志，需装拆、检修、维护的地方必须有识别标志，每个支、吊架附近也应有识别标志。

6.7.2 洁净室气体系统的分项验收应包括以下主控项目：

      （1） 所有气体管道应进行气密检查，检查用压力表精度等级不应低于1.5级，指示压力应在表量程1／3～2／3之间。

      检验方法：检查记录。

      检验数量：全部系统管道。

      （2） 高纯气体管道安装完毕应彻底吹除，并对排气洁净度、干燥度和输送气体纯度进行检查。

      试验介质为管道实际输送的气体或氮气。试验介质的洁净度以微粒数衡量，干燥度以水痕量浓度衡量，纯度以氧、二氧化碳痕量浓度衡量。

      检验方法：检查有资质的检验单位的检验报告。

      检验数量：全部检验报告。

      （3） 按设计要求做管材样板检查的，管材轴向剖面长度不应小于60mm。

      检验方法：检查记录和样板。

      检验数量：抽查30％。

      （4） 对输送压力大于等于0.5MPa的可燃气体、有毒气体的管道焊接处应进行抽样射线照相检查，并应符合设计的焊缝等级要求。

      检验方法：X射线无破损检测。

      检验数量：全部。

      （5） 气体管道应在气密性检验合格后进行泄漏率检查，以设计压力保持24h后泄漏率不超过0.5％为合格。允许堵漏后再试验。

      泄漏率按下式计算：

      式中：A--泄漏率（％）

                P₁、P₂-试验开始和结束时的绝对压力（MPa）；

               T₁、T₂-试验开始和结束时的绝对温度（K）。