洁净室气体管道系统安装要求如下：
1. 管道安装前应进行以下准备工作：
（1） 配管下料时应采用“等离子切割”或专用切割锯、割管刀等工具，不应采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或润滑剂。
（2） 管道切口应与管轴线垂直，切口表面应平整、无裂纹，应去除毛刺。
（3） 在主管道上连接支管或部件时，宜用成品连接件。
（4） 普通不锈钢管应在工厂的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水冲洗干净。
（5） 氧气管道及附件，安装前应按相关规定方法进行脱脂，脱脂应在远离洁净室的地点进行，并做好操作人员的安全与环境保护工作。
2. 管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，应敷设在人员不易碰撞的高度上，否则应有防护设施。输送干燥气体的管道宜无坡度敷设；真空吸引管道和含湿气体管道的坡度宜大于或等于0.3％，坡向真空泵站或冷凝水收集器。
3. 不锈钢管道应按现行国家标准《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GB 50236的要求采用氩弧焊焊接连接，焊接时管内应充氩气保护，直至焊接、吹扫、冷却完毕后停止充气。
4. 有接地要求的管道，法兰间必须接有多芯导电跨线。
5. 穿过围护结构进入洁净室的气体管道，应设套管，套管内管材不应有焊缝与接头，管材与套管间应用不燃材料填充并密封，套管两端应有不锈钢盘型封盖。
6. 高纯气体管道的安装，除应符合以上有关条款规定外，还应符合下列规定：
（1） 经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前应采取保护措施，防止二次污染。
（2） 管道预制、分段组装作业，不得在露天环境中进行。
（3） 分段预制或组装的管段完成后两端应用膜、板等封闭。
（4） 高纯气体管道为无缝铜管时，应采用承插式硬钎焊焊接。焊接紫铜管时应按现行国家标准《磷铜钎料》GB／T 6418要求选用磷铜钎料；焊接紫铜与黄铜管时宜按现行国家标准《银基钎料》GB 10046要求，选用HL304含银量为50％的银基钎料。管内应通人与工艺气体同等纯度的氮气作为保护气体并吹除，不宜用沾水纺织材料擦拭。
（5） 高纯气体管道如无法避免用螺纹连接时，宜在铜与铜、铜与铜合金附件外螺纹上均匀挂锡，非氧气管道宜采用聚四氟乙烯带缠绕管口螺纹。
（6） 不锈钢管、铜管应冷弯，弯管半径宜大于等于5倍管材外径；管壁不得起皱。
（7） 高纯气体管道为聚偏二氟乙烯（PVDF）管时，应采用自动或半自动热焊机焊接连接。两管对接面错边不应大于1mm。不同壁厚的管子不得对焊，热焊接连接时应采取保护环境和人员安全的措施。
（8） 管道系统支架间距应小于普通气体管道的支架间距，并应采用吊架、弹簧支架、柔性支撑等固定方式。应按现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB50235的要求，在不锈钢管与碳钢支架之间垫入不锈钢或氯离子含量不超过50×10-6（50ppm）的非金属垫层。
（9） 洁净室内高纯气体与高干燥度气体管道应为无坡度敷设，不考虑排水功能，终端应设放气管。
7. 医用气体管道安装后应加色标。不同气体管道上的接口应专用，不得通用。
