一、自动控制要求
1 洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置。
2 洁净室净化空调系统宜选用变频调速控制的风机。
3 净化空调系统的电加热器应设置无风、超温断电保护装置。当采用电加湿器时,应设置无水保护装置。
二、静电防护及接地
1 洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。
2 洁净室(区)内的防静电地面,其性能应符合下列规定:
(1)地面的面层应具有导电性能,并应保持长时间性能稳定。
(2)地面的面层应采用静电耗散性的材料,其表面电阻率应为1.0×105Ω/□〜1.0×1012Ω/□或体积电阻率为1.0×104Ω・cm~1.0×1011Ω・cm。
(3)地面应设有导电泄放措施和接地构造,其对地泄放电阻值应为1.0×105Ω〜1.0×109Ω。
3 洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。
4 洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施,其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。
5 防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子。 在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。
在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0. 10。
6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则,其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设,并应使用绝缘屏蔽电缆。
7 接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω;选择分散接地方式时,各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体,两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》 GB 50057的有关规定。