气流流型和送风量相关设计要求如下:
1 气流流型的设计应符合下列规定:
(1)洁净室(区)的气流流型和送风量应符合下表1的要求。 空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流;空气洁净度等级为4级〜5级时,应采用单向流;空气洁净度等级为6级〜9级时,应采用非单向流。
(2)洁净室工作区的气流分布应均匀。
(3)洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。
2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值:
(1)满足空气洁净度等级要求的送风量。
(2)根据热、湿负荷计算确定的送风量。
(3)按本站文章《洁净厂房压差控制设计要求》第一节空气净化设计一般规定第5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量。
3 为保证空气洁净度等级的送风量,应按表1中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。
表1 气流流型和送风量
空气洁净度等级 | 气流流型 | 平均风速 (m/s) | 换气次数 (h-1) |
1〜3 | 单向流 | 0.3~0. 5 | 一 |
4、5 | 单向流 | 0.2〜0. 4 | 一 |
6 | 非单向流 | 一 | 50〜60 |
7 | 非单向流 | 一 | 15〜25 |
8、9 | 非单向流 | 一 | 10〜15 |
注:(1)换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室;
(2)应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。
4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响,并应符合下列规定:
(1)单向流洁净室内不宜布置洁净工作台,非单向流洁净室的 回风口宜远离洁净工作台。
(2)需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
(3)有发热设备时,应采取措施减少热气流对气流分布的影响。
(4)余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。