1 洁净室内的空态噪声级,非单向流洁净室不应大于60dB (A),单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。
2 洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级,空态噪声频 谱的限制值不宜大于表1中的规定。
表1 空态噪声频谱的限制值
频率(Hz)\ 压级[dB(A)] 洁净室分类 | 63 | 125 | 250 | 500 | 1000 | 2000 | 4000 | 8000 |
非单向流 | 79 | 70 | 63 | 58 | 55 | 52 | 50 | 40 |
单向流、混合流 | 83 | 74 | 68 | 63 | 60 | 57 | 55 | 54 |
3 洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应有良好的隔声性能,并宜使其各部分隔声量相接近。
4 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,宜设置专用隔声或消声设施。
5 净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外,洁净室内的排风系统应进行减噪设计。
6 根据室内容许噪声级要求,净化空调系统风管内风速宜符合下列规定:
(1)总风管风速宜为6m/s〜10m/s。
(2)无送、回风口的支风管风速宜为4m/s〜6m/s。
(3)有送、回风口的支风管风速宜为2m/s〜5m/s。