电子工业洁净厂房采暖、通风设计要求如下:
1. 空气洁净度等级严于8级的洁净室(区)不应采用散热器采暖。
2. 洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备,应设置局部排风装置,排风罩宜为密闭式。局部排风系统单独设置的要求,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
3. 洁净室(区)的排风系统设计,应符合下列要求:
(1)应防止室外气流倒灌;
(2)含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采取相应防火防爆措施;
(3)局部排风系统排出的有害气体,当其有害物质浓度超过排放标准时,应采取有效处理措施。排气管高度和排放速率应满足国家现行有关排放标准的规定;
(4)对含有水蒸气或凝结物质的排风系统,应设置坡度及排放口;
(5)排风介质中含有剧毒物质时,应设置备用排风机和处理设备,并应设置应急电源;
(6)排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时,应设置备用排风机,并应设置应急电源;
(7)排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统,其风量应按在正常运行和事故情况下,风管内爆炸危险气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20%计;
(8)排除有爆炸危险气体和粉尘的局部排风系统,应设置消除静电的接地装置。
4. 对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路,应保持相对于路由区域一定的负压值。
5. 净鞋室、更外衣室、盥洗室厕所等生产辅助房间,应采取通风措施。
6. 洁净室(区)事故排风系统的设计,应符合下列规定:
(1) 事故排风区域的换气次数不应小于12次/h;
(2) 应设置自动和手动控制开关,手动控制开关应分别设置在洁净室(区)和洁净室(区)外便于操作的地点;
(3) 应设置应急电源。