1 范围
本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。
本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 191 包装储运图示标志
GB/T 4768 防霉包装
GB/T 4857.23 包装 运输包装件基本试验 第23部分：随机振动试验方法
GB/T 4879 防锈包装
GB/T 5048 防潮包装
GB 5226.1-2008 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件
GB/T 7932-2017 气动 对系统及其元件的一般规则和安全要求
GB/T 9969 工业产品使用说明书 总则
GB 11291.1-2011 工业环境用机器人 安全要求 第1部分：机器人
GB/T 12642-2013 工业机器人 性能规范及其试验方法
GB/T 13306 标牌
GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级
GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择
JB/T 8896-1999 工业机器人 验收规则
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
工业机器人 industrial robot
自动控制的、可重复编程、多用途的操作机，可对三个或三个以上轴进行编程。在工业自动化中使用。
注1：工业机器人包括：
——操作机，含制动器；
——控制器，含示教盒和某些通信接口（硬件和软件）。
注2：这包括某些集成的附加轴。
注3：它可以是固定式或移动式。
注4：改写GB/T 12643-2013，定义2.9。
3.2
洁净室 clean room
空气悬浮粒子浓度受控的房间。
注1：它的建造和使用能减少室内渗入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力也会受控。
注2：改写GB50073-2013，定义2.0.1。
3.3
真空 vacuum
用于描述低于大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。
［GB/T 3163-2007，定义2.3］
3.4
洁净机器人 clean-room robot
在洁净室（3.2）使用的，在电子器件制造、医药制造、食品制造等行业执行搬运等任务的工业机器人(3.1)。
注：可适用于大气和真空环境。
3.5
大气机器人 atmospheric robot
机器人整体或部分在大气环境下使用的洁净机器人（3.4）。
3.6
真空机器人 vacuum robot
机器人整体或部分在真空（3.3）环境下使用的洁净机器人（3.4）。
3.7
洁净度 cleanliness
以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
［GB 50073-2013，定义2.0.12］
3.8
漏率 leak rates
在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。
［GB/T 3163-2007，定义6.1.9］
4 产品分类
按使用环境分为：
a）大气机器人；
b）真空机器人。
5 性能
洁净机器人（以下简称机器人）的性能指标参数，应在产品标准中规定，包括下列各项：
a）各轴运动范围；
b）最大单轴速度；
c) 位姿准确度和重复性；
d）位置稳定时间；
e）轨迹准确度和重复性；
f）轨迹速度；
g) 静态柔顺性；
h）洁净度；
i) 漏率。
6 技术要求
6.1 一般要求
机器人应满足以下一般要求：
a）机器人的洁净设计应满足产品洁净度要求；
b）机器人应按规定程序批准的设计图样和工艺文件进行制造；
c）机器人部件质量应可靠，并符合相关标准。
6.2 外观和结构
机器人外观和结构应满足以下要求：
a）机器人表面色泽应均匀一致，无划痕等缺陷；表面各部分应光滑，无毛刺、尖角、起泡；
b）金属部件不应有锈蚀及其他机械损伤；
c）文字、符合和标志应清晰、端正，各关节轴处应标明轴号及运动方向；
d）机器人结构应布局合理，操作方便，便于维护；
e）机器人部件质量应可靠，并符合相关标准。
6.3 功能
机器人功能应满足以下要求：
a）机器人的开关、按钮、显示、报警及联锁装置功能应正常；
b）使用操作机操作机器人各轴运动应平稳、正常；
c）机器人各种运行模式中，指令与动作应协调一致；
d）机器人碰撞保护功能应正常。
6.4 气动系统
用气动驱动的机器人夹持器，其气动系统应符合GB/T 7932-2017的规定。
6.5 电气系统
机器人电气系统应符合GB 5226.1-2008的规定。
6.6 安全
6.6.1 基本要求
机器人的安全应符合GB 11291.1-2011的规定。针对洁净应用特点，且应满足以下工作要求：
a）机器人在应用过程中不应损坏应用产品；
b）机器人在搬运过程中物料（硅片、玻璃基板等）不应发生掉落、滑动；
c）机器人产生的空气悬浮粒子浓度应受控，不应破坏应用环境；
d）机器人在发生碰撞时应能够及时停机。
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