1 范围
本标准给出了洁净室及相关受控环境的空气过滤器效率分级和各种过滤器的应用要素。
本标准适用于洁净室及相关受控环境中使用的空气过滤器。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 25915.3—2010 洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法
GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇(ISO 14644-6 :2007,IDT)
ISO 29463-1:2011 高效率空气过滤器和滤材 第1部分:分级、性能试验、标识(High-efficiency filters and filter media for removing particles in ail——Part 1 : Classification, performance testing and marking)
ISO 29463-2;2011 高效率空气过据器和滤材 第2部分:气溶胶发生、测量装置、粒子计数统计 学方法(High-efficiency filters and filter media for removing particles in air-Part 2 : Aerosol production, measuring equipment and particle-counting statistics)
3 术语和定义
GB/T 25915.6-2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
空气过滤器 air filter
用于清除气流中悬浮颗粒物和某些气相污染物的过滤器。
3.2
效率 efficiency
试验条件下,过滤器或过滤材料捕集粒子的计数率与上游粒子计数率的比值,或滤除质量浓度与上游质量浓度的比值,以%表示。
3.3
穿透率 penetration
试验条件下,过滤器下游粒子浓度与上游浓度的比值,以%表示。
3.4
最易穿透粒径 most-penetrating particle size ; MPPS
对给定过滤器穿透率最高(过滤效率最低)的粒子粒径。
注:即最难过滤粒子的粒径。理论上讲,大于或小于MPPS粒子的过滤效率都高于MPPS处的效率;实际应用中,过滤器的MPPS是仪器测域的一个粒径范用,而不是某个唯一粒径。
3.5
MPPS 效率 minimum filter efficiency
试验条件下,过滤器效率曲线的最低点,即对应MPPS处的效率值。
3.6
亚高效过滤器 sub-HEPA filter
Y-HEPA 过滤器 Y-HEPA filter
EPA 过滤器 EPA filter
试验风量下MPPS效率低于99.95%但不低于85%的过滤器。
3.7
高效过滤器 high-efficiency-particulate-air
HEPA 过滤器 HEPA filter
ISO 35 H级〜ISO 45 H级,试验风量下MPPS效率低于99.999%但不低于99.95%的过滤器。
3.8
超高效过滤器 idtrA. low-penetration-air
ULPA 过滤器 ULPA filter
ISO 50 U级和更高级别过滤器,试验风量下MPPS效率不低于99.999%的过滤器。
3.9
钠焰法 sodium flame
检测过滤效率的一种方法。在过滤器上游发生特定质量中径与特定粒径分布的氯化钠气溶胶、利用火焰光度计测量过滤器上下游含钠气溶胶火焰特征强度,以确定过滤效率。
注;又称“火焰光度计法”。
3.10
浊度计法 photometer method
在过滤器上游发生特定质量中径与特定粒径分布的液态或固态气溶胶、利用光散射原理光度计测 量过滤器上下游气溶胶质量浓度,以确定过滤效率的一种方法。
注:又称“光度计法”。常用浊度计法有:传统的DOP法、油雾法等。
3.11
净化单元 fan filter nnit;FFU
将HEPA或ULPA过滤器、静压箱、风机、风速调整装置集成在一起的过滤装置。
注:又称“风机过滤单元”。
3.12
预过滤器 prefilter
为保护下一级过滤器并延长其使用寿命而设置的过滤器。
注:又称“前置过滤器”。
3.13
释气 organic outgas
过滤器制造材料可能释放的气态化合物。
3.14
末端过滤器 terminal filter
送风系统的最后一级空气过滤器。
3.15
吸附容量capacity
在气相空气净化设备中的过滤介质所能容纳的指定吸附质的数量(质量或摩尔数)。
注:在解吸过程中称解吸容量。
3.16
去除效率 removal efficiency
空气化学过滤器在规定的试验时间内,去除气相污染物的百分数(%)或其浓度分数。
3.17
压力降 differential pressure
空气化学过滤器前后两端的压力差,
3.18
保持能力retentivity
衡量吸附剂或化学过滤器抗解吸能力的参数,用剩余容量(残留分数)来表达。
3.19
聚四氟乙烯拉延膜滤材 ePTFE media
由聚四氟乙烯薄膜和其他辅助材料复合形成的滤材。其中,起过滤作用的材料为聚四氟乙烯拉延 形成的纤维状多孔薄膜。
注:制作高效过滤器的聚四叙乙烯薄膜厚度约10 μm〜20 μm,纤维直径仅有数十纳米,因此有时称“膜过滤”材料或 “纳米过滤”材料。
3.20
驻极体滤材 electrete media
能够长期贮存电荷的高分子过滤材料。
4 效率分级
空气过滤器效率分级参见附录A。对于高效率空气过滤器的过滤性能,本标准采用ISO 29463-1:2011规定的等级,参见A.1。
5 普通过滤器
5.1 概述
5.1.1 普通过滤器分为粗效、中效、高中效、亚高效、高效和超高效。在净化空调系统中粗效、中效、高中效作为预过滤器,保护其后的各种部件的功能和保护高效过滤器和超高效过滤器。
5.1.2 高效和超高效过滤器的功能和作用是保证生产工艺对环境所要求的洁净度等级,要将其设置在系统的末端。
5.2 末端高效率过滤器
5.2.1 过滤效率
通常,ISO 6级以及更低级别的非单向流洁净室,末端过滤器的过滤效率不低于ISO 35 H级(对最易穿透粒径粒子的过滤效率不低于99.95%)。若用户与供货商协商同意,也可以使用钠焰法、气溶胶浊 度计法或其他方法,其最低效率不低于99.97%或其他约定值。
ISO 5级洁净室的末端过滤器的过滤效率不低于ISO 40 H级(对最易穿透粒径粒子的过滤效率不 低于99.99%)。若用户与供货商协商同意,也可以使用对0.3粒子效率不低于99.99%的过滤器。
ISO 4级以及更高级别洁净空,末端过滤器一般采用ULPA过滤器,其过滤效率不低于ISO 50 U 级[MPPS处过滤效率不低于99.999%)。
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